Epitaksja z wiązki molekularnej
Nanostruktury poddawane badaniom w warunkach UHV są zwykle wytarzane przy pomocy techniki MBE (epitaksja z wiązki molekularnej ang. Molecular Beam Epitaxy). Technika ta pozwala nanosić na podłoża różne materiały z dokładnością na poziomie 0,01 ML (monowarstwa atomowa z ang. monolayer), dzięki kontroli procesu epitaksji przy pomocy wagi kwarcowej.
Materiały używane w układzie znajdują się w komórkach efuzyjnych, zwanych również wyparownikami, umieszczonych zazwyczaj poniżej próbki. Komórki efuzyjne zbudowane są z ceramicznego tygla wykonanego z Al2O3 o średnicy rzędu 5 mm ogrzewanego przy pomocy wolframowej spirali. Całość jest otoczona molibdenowym cylindrem o średnicy 10 mm w celu zapewnienia ekranowania termicznego. Układ wyparowników znajduje się na wspólnej podstawie chłodzonej wodą około 50 cm poniżej poziomu próbki.
Rys. 1. Schemat przedstawiający elementy układu umożliwiające nanoszenie materiałów na powierzchnię próbki
Rysunek 1 przedstawia ideowy schemat typowego układu używanego podczas nanoszenia substancji na powierzchnię próbki. Widoczna jest na nim jedna z komórek efuzyjnych położonych w dolnej części aparatury. Powyżej układu wyparowników znajduje się przesłona umożliwiająca zatrzymanie wiązki molekularnej. W odległości 3 cm od próbki, na tej samej wysokości znajduje się waga kwarcowa. Dzięki możliwości obrotu próbki wokół osi manipulatora, możliwe jest wystawienie podłoża na działanie wiązki molekularnej przez ściśle określony czas.